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美国Siargo 气体质量流量计 MEMS流量传感芯片 MF3000系列 描述：
MF3000系列气体质量流量计采用旁路设计并使用本公司专有的MEMS流量传感芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种独特的时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和可靠性得以大幅提高。时域流量传感技术还提供了更好的线性度，并使温度效应大幅降低。
美国Siargo 气体质量流量计 MEMS流量传感芯片 MF3000系列 产品特点：
支持多种连接方式，易于安装与使用
美国Siargo 气体质量流量计 MEMS流量传感芯片 MF3000系列 参数：
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