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一、气体质量流量传感器-FS4001描述：

FS4001质量流量传感器使用siargo专有的MEMS流量传感器与封装技术。该传感器的测量范围是0~ 30 sccm到0 ~ 1000 sccm。每个模型的流量是通过专门设计的封装，以及智能电子产品，以便达到适宜的灵敏度。

该包装盒是由化学惰性和热稳定的聚碳酸酯材料制成的。压力等级较高是5BAR（73 PSI），受益于siargo独特的MEMS芯片结构、特殊包装技术和坚固耐用的传感器外壳。
FS4001可用于广泛的应用范围包括仪器（如气相色谱质谱法）、泄漏检测、过程控制、气体流量计量以及医疗应用。FS4001需要8 ~ 24 VDC电源提供一个模拟和/或数字用户接口。模拟输出是线性的从0.5到4.5 VDC从0到满刻度流量相应。数字输出是通过I2C输出，RS232传输，RS232通信协议可以在本手册中找到。

二、气体质量流量传感器-FS4001主要特性：
1）传感器灵敏度高，有极小的始动流量
2）传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
3）在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高
4）传感器的零点稳定度高
5）全量程高稳定性
6）全量程高精确度和优良的重复性
7）低功耗
8）低压损
9）响应时间快

三、气体质量流量传感器-FS4001典型应用：
适用于小流量气体质量的流量测量。

四、气体质量流量传感器-FS4001框图:

功能框图如下图所示。MEMS传感器芯片的传感器驱动电路供电和发送流量相关的电压转换器。微控制器处理英文字母表的第19个字母；

（放大、滤波等）将电压转换成流量。流量信号被发送通过模拟或模拟和数字格式（RS232）。

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