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一、FS8000系列微机电气体质量流量传感器产品简介： FS8000系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而 设计的。产品有两种测量范围，螺纹接口易于安装，可用于固晶机等多种工业设备。 二、FS8000系列微机电气体质量流量传感器产品特点: 传感器灵敏度高，有极小的始动流量 响应速度快 低压损 安装方便 三、FS8000系列微机电气体质量流量传感器技术参数：
项目
FS8001
FS8003
单位
流量范围
(0~500) sccm
(0~6) SLPM
精度
±(2. 0+0. 5FS)
%
重复性
±1. 0
零点输出漂移
±30
mV
输出漂移
±0. 12
% / ℃
响应时间
10
ms
工作电源
8~24
VDC
输出方式
线性，模拟电压0.5~4.5VD C（可选IC 数字信号输出）
Max工作压力
0.3
MPa
工作温度
0 ~ +55
℃
储存温度
-20 ~ +65
工作湿度
<95% RH （无结冰、无凝露）
电气接口
SM 05B-SRSS-TB (JST)
机械接口
M5螺孔
咨询热线：0755-83289071
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