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自营美国Siargo 微机电气体质量流量传感器-FS8000系列

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规格FS8000系列
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商品详情
商品名称:美国Siargo 微机电气体质量流量传感器类型:气体质量流量传感器
商品型号:FS8000系列
商品规格书:规格书.pdf

一、微机电气体质量流量传感器FS8000系列产品简介:
FS8000系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而 设计的。产品有两种测量范围,螺纹接口易于安装,可用于固晶机等多种工业设备。


二、微机电气体质量流量传感器FS8000系列产品特点:
传感器灵敏度高,有极小的始动流量
响应速度快
低压损
安装方便


三、微机电气体质量流量传感器FS8000系列技术参数:

项目

FS8001

FS8003

单位

流量范围

(0~500) sccm

(0~6) SLPM

(0~6) SLPM

精度

±(2. 0+0. 5FS)

%

重复性

±1. 0

%

零点输出漂移

±30

m V

输出漂移

±0. 12

% / ℃

响应时间

10

m s

工作电源

8~24

VD C

输出方式

线性,模拟电压0.5~4.5VD C(可选IC 数字信号输出)

 

最大工作压力

0. 3

M Pa

工作温度

0~+55

储存温度

-20~+65

工作湿度

<95% RH (无结冰、无凝露)

 

电气接口

SM 05B-SRSS-TB (JST)

 

机械接口

M 5螺孔Rc1/ 8(入口)/M 5螺孔(出口)

 



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