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一、微流量传感器F1031描述
F1031 微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测,具有很好的精度与重复性。F1031微流量传感器内置有温度传感器,每只都进行专有的温度补偿校准;同时具有线性模拟电压输出,方便使用。 芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成:热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游;加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热。热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压,即本征塞贝克效应。加热电阻两侧的等温线,当流体静止时,等温线沿垂直加热电阻中部的直线对称分布,加热电阻两侧对称位置的温度是相同的。当流体从左向右流动时,等温线向右侧倾斜。加热电阻两侧对称位置的温度不再相同。温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关,因此传感器可直接测出流体质量流量。
二、微流量传感器F1031传感器特点 新一代MEMS传感器芯片技术 无漂移,无滞后 精度高,响应速度快,重复性好 低功耗(使用脉冲激发电流) 可准确测量极小流量 经过完全校准和温度补偿 线性或开方特性输出;模拟或数字输出
三、微流量传感器F1031主要应用 医用设备:呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等 暖通空调:变风量系统 (VAV)、过滤器监控、风扇通风控制等 工业过程控制:燃烧器控制 空气和环境保护 便携式仪器 四、微流量传感器F1031技术指标
注:产品参数如有变动,恕不另行通知
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