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首页 > 传感器 > 气体质量流量传感器 > 皮拉尼真空传感器-F6000

自营皮拉尼真空传感器-F6000

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规格 F6000

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商品详情

商品名称：皮拉尼真空传感器类型：气体质量流量传感器

商品型号： F6000

皮拉尼真空传感器F6000产品描述

F6000系列MEMS皮拉尼真空传感器提供了一个突破性的真空测量方案。该传感器外形微小，同时又具有超低功耗，长寿命，低现场维护，和低成本的优点。

依据“气体热导系数与低真空范围压力成正比”的原理，F6000系列真空传感器测量加热元件上由于传热到周围的气体而导致的细微的电阻变化。
该加热元件（即测量电阻）是由一个置于一张隔热膜上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的25祄深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以确保精密测量传热率。由于被测气体体积极小（即空腔容积小），炜盛传感器能够提供超低的功耗和快速的响应时间。
F6000系列真空传感器还提供了一个与测量电阻具有相同电阻温度系数（TCR）的基准电阻，布置在传感器芯片基板上。传感器电路可用它来进行环境温度补偿。

由于具有可靠性高，成本低，使用简便和超低功耗的逐项优点，采用MEMS工艺加工的，微型化的皮拉尼技术正在成为一个行业标准。F6000 系列MEMS皮拉尼真空传感器可以帮助客户充分利用这一趋势，以改善其现有的产品和开发新的产品。