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微型皮拉尼真空传感器PVC1000系列 描述：

PVC1000系列MEMS微型皮拉尼真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案，不但体积小，而且具有超低功耗、长寿命、低现场维护和低成本的优点。

依据气体热导率与低真空范围的压力成正比的原理，微型皮拉尼真空传感器测量加热元件电阻值的微小变化，这一变化产生的原因是热量传递到周围气体而引起的温度改变，与气体热导率相关。

加热元件(测量电阻)由位于绝热膜上的铂薄膜电阻构成。绝热膜悬浮在一个微加工的空腔上，空腔底部表面与绝热膜平行，以确保精确测量热导率。因为只需要少量气体(腔内体积)就可以实现高精度的测量，微型皮拉尼真空传感器具有超低功耗和快速响应时间。

传感器芯片上有一个参考电阻，具有与测量电阻相同的温度系数(TCR)，可用来做环境温度补偿。

采用MEMS技术生产的微型皮拉尼真空传感器，在小型化的同时，实现了高可靠性、

低成本、使用方便和超低功耗，PVC1000系列产品已成为行业标准。采用PVC1000系列传感器可以帮助客户改进现有产品并开发出创新产品。

微型皮拉尼真空传感器PVC1000系列特点：

超低功耗<5 mW

快速响应时间<5 mSec

适用低至0.1 cm3的气体体积

长期稳定

可浸入溶剂中清洗，延长使用寿命

微型皮拉尼真空传感器PVC1000系列应用：

密闭真空系统的泄漏检测

真空包装机

便捷式数字真空计

微型皮拉尼真空传感器PVC1000系列额定值：

工作温度：-25至85 °C

存储温度：-40

至90 °C

冲击：100 g峰值(5次跌落，3轴)

 

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