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微型皮拉尼真空传感器PVC1000系列 描述:
PVC1000系列MEMS微型皮拉尼真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案,不但体积小,而且具有超低功耗、长寿命、低现场维护和低成本的优点。
依据气体热导率与低真空范围的压力成正比的原理,微型皮拉尼真空传感器测量加热元件电阻值的微小变化,这一变化产生的原因是热量传递到周围气体而引起的温度改变,与气体热导率相关。
加热元件(测量电阻)由位于绝热膜上的铂薄膜电阻构成。绝热膜悬浮在一个微加工的空腔上,空腔底部表面与绝热膜平行,以确保精确测量热导率。因为只需要少量气体(腔内体积)就可以实现高精度的测量,微型皮拉尼真空传感器具有超低功耗和快速响应时间。
传感器芯片上有一个参考电阻,具有与测量电阻相同的温度系数(TCR),可用来做环境温度补偿。
采用MEMS技术生产的微型皮拉尼真空传感器,在小型化的同时,实现了高可靠性、
低成本、使用方便和超低功耗,PVC1000系列产品已成为行业标准。采用PVC1000系列传感器可以帮助客户改进现有产品并开发出创新产品。
微型皮拉尼真空传感器PVC1000系列特点:
超低功耗<5 mW
快速响应时间<5 mSec
适用低至0.1 cm3的气体体积
长期稳定
可浸入溶剂中清洗,延长使用寿命
微型皮拉尼真空传感器PVC1000系列应用:
密闭真空系统的泄漏检测
真空包装机
便捷式数字真空计
微型皮拉尼真空传感器PVC1000系列额定值:
工作温度:-25至85 °C
存储温度:-40
至90 °C
冲击:100 g峰值(5次跌落,3轴)
咨询热线:0755-83289071
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