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一、微流量传感器F1012产品描述

F1012微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量监测，具有很好的精度与重复性。F1012微流量传感器内置有温度传感器，每只都进行专有的温度补偿校准；同时具有线性模拟 电压输出，方便使用微流量传感器F1012芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成：热偶堆对称 地分布在加热电阻的上、下游；加热电阻和热偶堆的热结 处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热。热 偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压，即本征塞 贝克效应。当流体 静止时，等温线沿垂直加热电阻中部的直线对称分布，加 热电阻两侧对称位置的温度是相同的。当流体从右向左流 动时，等温线向左侧倾斜。加热电阻两侧对称位置的温度 不再相同。温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由 于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可直接测出流体质量流量。

二、微流量传感器F1012特点
新一代MEMS传感器芯片技术
无漂移，无滞后
精度高，响应速度快，重复性好
低功耗（使用脉冲激发电流）
可准确测量极小流量
经过完全校准和温度补偿
线性或开方特性输出；模拟或数字输出

三、微流量传感器F1012主要应用
医用设备：呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等
暖通空调：变风量系统 (VAV)、过滤器监控、风扇通风控制等
工业过程控制：燃烧器控制
空气和环境保护
便携式仪器

四、微流量传感器F1012技术指标

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