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皮拉尼真空传感器F6000产品描述

F6000系列MEMS皮拉尼真空传感器提供了一个突破性的真空测量方案。该传感器外形微小，同时又具有超低功耗，长寿命，低现场维护，和低成本的优点。

依据“气体热导系数与低真空范围压力成正比”的原理，F6000系列真空传感器测量加热元件上由于传热到周围的气体而导致的细微的电阻变化。
该加热元件（即测量电阻）是由一个置于一张隔热膜上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的25祄深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以确保精密测量传热率。由于被测气体体积极小（即空腔容积小），炜盛传感器能够提供超低的功耗和快速的响应时间。
F6000系列真空传感器还提供了一个与测量电阻具有相同电阻温度系数（TCR）的基准 电阻，布置在传感器芯片基板上。传感器电路可用它来进行环境温度补偿。

由于具有可靠性高，成本低，使用简便和超低功耗的逐项优点，采用MEMS工艺加工的，微型化的皮拉尼技术正在成为一个行业标准。F6000 系列MEMS皮拉尼真空传感器可以帮助客户充分利用这一趋势，以改善其现有的产品和开发新的产品。

皮拉尼真空传感器F6000绝对最大指标：
工作温度：-40 C至125C（可提供更高温度型号）
湿度：0到100％RH，非冷凝
耐冲击性：1000g
超压：27.5 Bar

皮拉尼真空传感器F6000传感器特点

超低功耗<5毫瓦
快速响应时间<5毫秒
耐冲击至1000g
可测量气体体积低至0.1 cm3
低噪声
高分辨率
同一芯片上进行温度传感
长期稳定
可用溶剂浸泡清洗，延长使用寿命

皮拉尼真空传感器F6000主要应用

分析仪器
使用前级真空的封闭系统的检漏
半导体设备
真空包装机
便携式数字真空计
小型机械系统（如泵）以达到规定的真空度
低成本真空开关来验证1托以下的真空度

 

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